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    高低溫真空探針臺的技術指標及主要功能
    時間:2024-05-14 15:35:02 閱讀:29 來源:創始人

      高低溫真空探針臺是一種用于電子與通訊技術范疇的工藝實驗儀器。

      高低溫真空探針臺技術指標:

      1、六個探針臂接口,可以裝置六個探針臂。

      2、一個CF40真空抽氣口,一個疾速破真空進氣口。

      3、載物Chuck溫度范圍:4K-500K;CF法蘭接口,零碎極限真空優于5*10-6Pa。

      4、漏率優于:1.3*10-10Pa.M3/s;探針X-Y-Z三方向挪動,行程:25.4mm,定位精度:10μm。

      5、雙屏蔽chuck高低溫時到達100FA的測試精度。

      高低溫真空探針臺主要功能:

      可以完成樣品在高溫真空環境的測試,完成樣品在10-4PA真空度,4.2K到480K恣意溫度點的準確電學測量,可完成直流和微波(40GHz)的測量。


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