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    探針座/定位器選型
    時間:2022-03-24 00:13:32 閱讀:24 來源:chuangpu

    由于現在半導體業的蓬勃發展,導致用于芯片研發或生產的需求越來越明確,日前市場上也應運而生了很多廠家,他們開始生產可搭載在探針臺上使用的探針座來滿足不同客戶群體的需求;可探針座(定位器)的選擇一直是困擾大家的難題,接下來,創譜儀器從幾個方面給大家詳細講解!

     首先,探針座其實就是一個可實現對加載探針進行X、 Y、Z三維移動的機械位移臺(如果足射頻或光測試可能會多幾個維度),底座可選用磁性吸附、真空吸附、機械安裝孔的方式固定在探針架/探針臺上,頭部通過搭我司不同夾具即可實現直流、射頻、光等附件的連接。

     探針座驅動部分分為分為兩種:精密微分頭、細牙螺紋副;前者使用周期長,精度取決于千分尺,CHPUIST定制細牙微分頭,可以把分辨率提高到1μm;后者精度取決于螺紋間隙,相對前者使用壽命短些;

    探針座根據應用劃分為:直流探針座、射頻探針座、光電探針座
    探針座選型

    那么到底什么樣的探針座才是最適合我們的呢?
    ①首先我們要確定自己的待測芯片PAD(探針扎針處)大小,咱們以100μm×100μmPAD尺寸為例,對于直流探針就要選擇1/10 PAD長度左右的探頭且移動精度為1/9-1/15PAD長度即可,也就是說選擇10um針尖的探針,并配合10um精度的探針座即可

    ②對于射頻器件測試而言,我們首先要選擇探針座的移動精度為1/10PAD最小寬度以上,同時需要注意探針座的穩定性,因為射頻測試扎針的穩定性和一致性非常重要,由于射頻測試時搭載的探針為“GS"或“CSG",有時候還會遇到“GSGSGSG"這種多點探針,在扎針時候需要在視野內平穩且清晰的下針,這樣好判斷每一根探針是否良好的與PAD按觸,以此保證接觸時產生的寄生參數一致。

    ③對于射頓探針座還有一個探針頭部活動問題,射頻探針扎針前必須要和DUT平行,這就需要器件之間精度配合要精準,必要時需要添加一個角度裝置來作為補償。


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